六氟化硫 CAS#: 2551-62-4

六氟化硫是一種無色、無臭、無毒、不燃的惰性氣體，分子量為146.07，熔點為-51℃，沸點為-64℃。六氟化硫分子結構呈八面體排布，鍵合距離小、鍵合能高，因此其穩定性很高。電子級高純六氟化硫是一種理想的蝕刻劑，可用六氟化硫蝕刻硅表面并去除半導體材料上的有機或無機膜狀物，并可在光導纖維的制造過程中，作為摻雜劑使用。

產品指標

產品用途：

電子級高純六氟化硫是一種理想的電子蝕刻劑，廣泛應用于微電子技術領域，用作電腦芯片、液晶屏等大型集成電路制造中的等離子刻蝕及清洗劑。在光纖制備中六氟化硫用作生產摻氟玻璃的氟源。此外，六氟化硫還可作為絕緣氣體、示蹤劑、冷凍劑使用。        

包裝、貯存：

六氟化硫充裝在鋼質無縫氣瓶中，鋼瓶一般容積為40L。具體包裝規格可根據用戶要求定制更改。六氟化硫儲存于陰涼、通風的庫房，遠離火種、熱源，庫溫不宜超過30℃，應與易（可）燃物、氧化劑分開存放，切忌混儲，儲區應備有泄漏應急處理設備。