2024年4月15—17日,公司受邀出席在杭州舉辦的2024(第十屆)氟材料高端應用及相關加工技術研討會。重山光電副董事長、總工程師方治文教授應主辦方邀請擔任論壇主持人,并做了題為《半導體制程用無機含氟氣體材料發展趨勢》的主題演講。氟化工行業眾多生產和應用企業、產業鏈上下游配套企業、科研院所、投資人和媒體等200余位專家和代表出席了本次會議。
電子特氣作為半導體產業鏈上游關鍵原材料之一,在半導體芯片制程的硅片制造、外延生長、光刻、刻蝕、成膜、離子注入、清洗等各個環節中具有重要用途。作為半導體芯片制程不可或缺的材料,電子特氣被視為半導體芯片制程的“血液”和“糧食”,而含氟電子特氣份額則占到了電子特氣市場一半左右,在半導體制程中起著舉足輕重的作用。方治文教授在演講中針對半導體制程用無機含氟氣體材料研發應用現狀進行了分析,并結合先進半導體制程對電子特氣提出的挑戰,就無機含氟電子特氣未來的發展趨勢與參會嘉賓進行了深入探討。
重山光電一直將研發具有自主知識產權的先進半導體材料作為公司的戰略重點。公司多年深耕先進電子特氣領域,打破國外技術壟斷,多項技術及產品填補了國內空白,并進入下游半導體客戶供應鏈,初步實現了產業端的突破。目前公司含氟電子特氣板塊發展勢頭強勁,數個含氟電子特種氣體率先實現國產化生產和供應替代,為我國先進半導體產業技術安全發展提供了重要支撐。
2023年11月在上海召開的第九屆氟材料高端應用及相關加工技術研討會上,方治文教授擔任大會開幕式及主論壇主持人,并在大會做了題為《特種功能氟碳材料制備及應用》的報告。方教授在報告中介紹了特種功能氟碳材料的優良性能和生產方法,對其主要生產工藝優缺點進行了評述,并就特種功能氟碳材料在高級潤滑油、工業潤滑材料、海洋重防腐及防污涂料以及鋰電池等領域的應用研究及進展與參會嘉賓進行了分享。
此外,公司還于2021年、2022年分別參加了第六屆、第七屆氟材料高端應用及相關加工技術研討會。方治文教授連續兩年圍繞該主題進行了報告。
2023年3月,方教授作為授課嘉賓參加了在南京召開的“第六期氟化工基礎培訓班—含氟電子化學品專題”培訓班,會上方治文教授向與會學員就《我國含氟電子化學品發展現狀及趨勢分析》進行授課,對包括含氟濕電子化學品、含氟液晶材料、電子氟化液 、含氟電子特氣等在內的主要含氟電子化學品的生產應用、市場競爭格局、發展趨勢等內容進行了全面介紹。圖:方治文教授與參加培訓班的專家、學員合影