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20種電子特氣入選工信部重點(diǎn)新材料應(yīng)用示范指導(dǎo)目錄(2019版)

更新時(shí)間:2020-01-10 點(diǎn)擊數(shù):2541

為進(jìn)一步做好重點(diǎn)新材料首批次應(yīng)用保險(xiǎn)補(bǔ)償試點(diǎn)工作,工業(yè)和信息化部12月2日公布了《重點(diǎn)新材料首批次應(yīng)用示范指導(dǎo)目錄(2019年版)》,自2020年1月1日起施行。《重點(diǎn)新材料首批次應(yīng)用示范指導(dǎo)目錄(2018年版)》(工信部原〔2018〕262號)同時(shí)廢止。

圖片關(guān)鍵詞

  本次版本的特種氣體在電子化工新材料項(xiàng)目范疇,涉及氣體種類高達(dá)20種。相較于2018版,本次新增加的電子特氣是超高純氙氣和5種超高純電子混合氣體:超高純鍺烷混氫(GeH4/H)、超高純鍺烷混氫(GeH4/H2)、超高純乙硼烷混氫(B2H6/H2)、超高純乙硼烷混氮?dú)狻⒊呒兞淄榛鞖錃?PH3/H2)。

圖片關(guān)鍵詞

  此次公布的重點(diǎn)新材料包括20種特種氣體:高純氯氣、三氯氫硅、鍺烷、HCL、N2O、COS、B2H6、AsH3、PH3、SiH4、二氯二氫硅、高純?nèi)然稹⒘纫夜柰椤⑺穆然琛⒊呒冸瘹狻⒊呒冩N烷混氫(GeH4/H)、超高純鍺烷混氫(GeH4/H2)、超高純乙硼烷混氫(B2H6/H2)、超高純乙硼烷混氮?dú)狻⒊呒兞淄榛鞖錃?PH3/H2)。



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